멀티 아크 크롬 크롬 음극 타겟

멀티 아크 크롬 크롬 캐소드 타겟은 물리적 기상 증착(PVD) 공정에서 일반적으로 사용되는 박막 증착 타겟 유형입니다. 고순도 크롬(Cr)으로 만들어졌으며 기판에 크롬 박막을 증착하는 데 사용됩니다.

"멀티 아크"라는 용어는 이 유형의 타겟에 사용되는 증착 방법을 말합니다. 멀티 아크 PVD 공정에서 전기 아크가 캐소드 타겟과 애노드 사이에 발생합니다. 이로 인해 캐소드 재료의 원자가 크롬 타겟에서 방출되어 기판에 증착됩니다. 다중 아크는 증착 속도를 높이고 필름 품질을 개선하는 데 사용됩니다.

크롬은 높은 경도, 내마모성 및 내식성으로 인해 PVD 코팅에 인기 있는 소재입니다. 자동차 부품, 항공우주 구성 요소 및 장식용 코팅을 포함한 광범위한 응용 분야에 사용됩니다.

크롬 스퍼터링 타겟은 일반적으로 분말 야금 공정을 사용하여 만들어지며, 이는 고순도 크롬 분말을 고체 타겟 모양으로 압축하는 것을 포함합니다. 그런 다음 크롬 타겟을 고온에서 소결하여 원하는 밀도와 미세 구조를 얻습니다.

전반적으로 크롬 코팅을 증착하기 위한 PVD 공정에서 핵심 구성 요소이며, 높은 성능과 미적 매력으로 널리 사용됩니다.

사양:

●소재 : 순수 Cr 99.9%-99.99%, NiCr 합금

●순도 : 99.9%(3N) - 99.99%(4N)

●표준 : ASTM, DIN, JIS, ASME

●사이즈 : 직경 100*40mm, 100*45mm, 98*40mm, 95*40mm, 80*50mm, 80*45mm, 80*40mm

●MOQ: 5개

특징:

크롬 타겟은 고급 열간 등압 프레스(HIP) 공정으로 생산됩니다. 제품에는 직사각형 타겟, 아크 타겟, 환형 타겟, 대면적비 일체형 튜브 타겟이 포함되며, 제어 가능한 순도와 밀도, 미세하고 균일한 입자, 긴 서비스 수명 등이 있습니다.

매개변수:

스퍼터링 타겟용 기타 소재

코팅 타겟은 마그네트론 스퍼터링, 멀티 아크 이온 플레이팅 및 기타 유형의 코팅 시스템을 적절한 공정 조건에서 기판에 다양한 기능성 박막을 형성하는 스퍼터링 소스입니다. 간단히 말해서 타겟 재료는 고속 대전 입자에 의해 폭격된 타겟 재료입니다. 고에너지 레이저 무기에 사용됩니다. 서로 다른 전력 밀도, 서로 다른 출력 파형 및 서로 다른 파장을 가진 레이저가 서로 다른 타겟과 상호 작용할 때 서로 다른 살상 및 파괴 효과가 발생합니다. 예를 들어: 증발 마그네트론 스퍼터링 코팅은 가열 증발 코팅, 알루미늄 필름 등입니다. 서로 다른 타겟 재료(예: 알루미늄, 구리, 스테인리스 스틸, 티타늄, 니켈 타겟 등)를 대체하면 서로 다른 필름 시스템(예: 초경, 내마모성, 부식 방지 합금 필름 등)을 얻을 수 있습니다.

적용 사례

이것은 크롬 박막을 기판에 증착하는 데 다양한 산업에서 널리 사용됩니다. 다음은 적용 사례의 예입니다.

크롬 타겟의 주요 용도 중 하나는 자동차 산업에서 피스톤 링, 베어링, 밸브 스템과 같은 엔진 구성품에 내마모성 코팅을 증착하는 것입니다. 이러한 코팅은 구성품의 내구성과 성능을 개선하고 마찰과 마모를 줄입니다.

예를 들어, 선도적인 자동차 공급업체는 피스톤 링에 경질 크롬 코팅을 증착하곤 했습니다. 크롬 타겟은 고순도 크롬으로 만들어졌으며 직경은 100mm, 두께는 3mm였습니다. PVD 공정은 아르곤 가스 분위기와 증착 속도 0.2-0.4μm/min의 다중 아크 증착 시스템을 사용했습니다.

결과적으로 생성된 크롬 코팅은 두께가 3-5 μm이고 우수한 접착력, 내마모성 및 내부식성을 나타냈습니다. 코팅된 피스톤 링은 코팅되지 않은 링에 비해 내구성과 성능이 상당히 향상되었습니다.

이 적용 사례는 자동차용 고품질 크롬 코팅을 증착하는 데 있어 크롬 스퍼터링 타겟의 효과를 보여줍니다. PVD 코팅을 사용하는 것은 자동차 구성품의 성능과 신뢰성을 개선하는 중요한 방법이며, 다중 아크 크롬 Cr 캐소드 타겟은 이 공정에서 중요한 역할을 합니다. 크롬 타겟 공급업체인 당사는 크롬 펠릿 타겟, 원형 타겟, 평면 타겟 및 회전형 타겟도 공급할 수 있습니다.

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