다중 아크 크롬 Cr 음극 타겟
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다중 아크 크롬 Cr 음극 타겟

다중 아크 크롬 Cr 음극 타겟

크롬 타겟;크롬 스퍼터링 타겟
소재:크롬 Cr
순도:99.9%(3N) - 99.99%(4N)크기:Dia100mm×40mm;Dia100mm×45mm;Dia100mm×50mm;Dia80mm×40mm;Dia60mm×30mm 또는 맞춤형
가공 기술:용해 및 HIP

제품 소개

Multi Arc Chrome Cr 캐소드 타겟은 PVD(물리 기상 증착) 공정에서 일반적으로 사용되는 일종의 박막 증착 타겟입니다. 고순도-크롬(Cr)으로 만들어지며 기판에 크롬 박막을 증착하는 데 사용됩니다.

"다중-아크"라는 용어는 이러한 유형의 타겟에 사용되는 증착 방법을 나타냅니다. 다중-아크 PVD 공정에서는 음극 타겟과 양극 사이에 전기 아크가 발생합니다. 이로 인해 음극 물질의 원자가 크롬 타겟에서 방출되어 기판에 증착됩니다. 증착 속도를 높이고 필름 품질을 향상시키기 위해 다중 아크가 사용됩니다.

크롬은 높은 경도, 내마모성 및 내식성으로 인해 PVD 코팅에 널리 사용되는 소재입니다. 자동차 부품, 항공우주 부품, 장식 코팅 등 광범위한 응용 분야에 사용됩니다.

크롬 스퍼터링 타겟은 일반적으로 고순도 크롬 분말을 고체 타겟 모양으로 압축하는 분말 야금 공정을 사용하여 만들어집니다. 그런 다음 크롬 타겟을 고온에서 소결하여 원하는 밀도와 미세 구조를 얻습니다.

전반적으로 이는 크롬 코팅 증착을 위한 PVD 공정의 핵심 구성 요소로, 고성능과 미적 매력으로 인해 널리 사용됩니다.

사양:

재질: 순수 Cr 99.9%-99.99%, NiCr 합금

순도:99.9%(3N) - 99.99%(4N)

표준: ASTM,DIN,JIS,ASME

크기: Dia100*40mm, 100*45mm, 98*40mm, 95*40mm, 80*50mm, 80*45mm, 80*40mm

MOQ: 5개 조각

특징:

크롬 타겟은 고급 열간 등압 성형(HIP) 공정을 통해 생산됩니다. 제품에는 제어 가능한 순도 및 밀도, 미세하고 균일한 입자, 긴 서비스 수명 등을 갖춘 직사각형 타겟, 아크 타겟, 환형 타겟 및 대형 종횡비 일체형 튜브 타겟이 포함됩니다.

매개변수:

크롬 타겟제품 성능
순도 %99.9%-99.99%
밀도 g/cm3
>7.12
입자 크기 음
<100
금속 불순물 총 함량 PPM
<5000
열전도율 Wm/k600-100
열팽창 계수8x10-6

스퍼터링 타겟용 기타 재료

고순도 금속 스퍼터링 타겟

알류미늄

펠렛, 원형, 평면형, 회전 가능한 타겟


3N~6N

크로늄

2N~3N5

은

4N~5N

백금

4N~5N

금

4N~5N

니켈

4N~5N

주석

4N~6N

망간

4N~5N

코발트

3N~4N

철

3N~4N

아연

4N~5N

지르코늄

2N2~4N

티탄

4N~5N

인듐

4N~5N

게르마늄

4N~6N

규소

4N~6N

구리

4N~5N

몰리브덴

3N~4N

니오브

3N5

타탈룸

4N5

텅스텐

3N5

하프늄

3N

바나듐

2N5~3N

코팅 타겟은 적절한 공정 조건에서 마그네트론 스퍼터링, 다중-아크 이온 도금 및 기타 유형의 코팅 시스템을 통해 기판에 다양한 기능성 박막을 형성하는 스퍼터링 소스입니다. 간단히 말해서, 타겟 물질은 고속-하전 입자에 의해 충격을 받은 타겟 물질입니다. 이는 고-에너지 레이저 무기에 사용됩니다. 서로 다른 출력 밀도, 서로 다른 출력 파형 및 서로 다른 파장을 가진 레이저가 서로 다른 대상과 상호 작용하면 서로 다른 살해 및 파괴가 발생합니다. 효과. 예: 증발 마그네트론 스퍼터링 코팅은 가열 증발 코팅, 알루미늄 필름 등입니다. 다양한 타겟 재료(예: 알루미늄, 구리, 스테인레스 스틸, 티타늄, 니켈 타겟 등)를 교체하면 다양한 필름 시스템(예: 초-경질, 내마모성-, 내식성-합금 필름 등)을 얻을 수 있습니다.

적용사례

이는 기판에 크롬 박막을 증착하기 위해 다양한 산업 분야에서 널리 사용됩니다. 다음은 적용 사례의 예입니다.

크롬 타겟의 주요 용도 중 하나는 자동차 산업에서 피스톤 링, 베어링, 밸브 스템과 같은 엔진 부품에 내마모성 코팅을 증착하는 것입니다.{0}} 이러한 코팅은 부품의 내구성과 성능을 향상시키고 마찰과 마모를 줄입니다.

예를 들어, 한 선도적인 자동차 공급업체는 피스톤 링에 경질 크롬 코팅을 입혔습니다. 크롬 타겟은 고순도 크롬으로 만들어졌으며 직경은 100mm, 두께는 3mm였습니다. PVD 공정에서는 아르곤 가스 분위기와 0.2~0.4μm/min의 증착 속도를 갖춘 다중{5}}아크 증착 시스템을 사용했습니다.

생성된 크롬 코팅은 3~5μm의 두께를 가지며 우수한 접착력, 내마모성, 내식성을 나타냈다. 코팅된 피스톤 링은 코팅되지 않은 링에 비해 내구성과 성능이 크게 향상되었습니다.

이 응용 사례는 자동차 응용 분야용 고품질 크롬 코팅을 증착하는 데 있어 크롬 스퍼터링 타겟의 효율성을 보여줍니다.- PVD 코팅의 사용은 자동차 부품의 성능과 신뢰성을 향상시키는 중요한 방법이며 다중-아크 크롬 Cr 음극 타겟은 이 프로세스에서 중요한 역할을 합니다. 크롬 타겟 공급업체인 당사는 크롬 펠릿 타겟, 원형 타겟, 평면 타겟 및 회전 가능 타겟도 공급할 수 있습니다.

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