제품 소개
지르코늄은 주기율표의 전이금속에 속하는 회백색 광택 금속으로, 내식성이 매우 강하고 녹는점이 높아 다양한 산업 분야에 활용이 가능합니다.
그것은 물리적 기상 증착(PVD) 및 스퍼터링을 포함한 다양한 응용 분야에서 타겟으로 사용되는 얇고 평평한 지르코늄 금속 조각입니다. 이러한 공정에서 이온 또는 원자 빔이 그것에 향하여 침식되고 기판에 지르코늄의 얇은 필름이 증착됩니다.
TiZr, NbZr 등 다른 합금 지르코늄 타겟도 맞춤 제작이 가능합니다.
Zr 플레이트 타겟 사양
청정 | 99.5%-99.995% |
모양 | 평면, 판 |
재료 | 지르코늄 |
치수 | 12x132x1701mm 및 사용자 정의 도면 |
표면 거칠기 | Ra 0.8-대상에 대한 Ra 3.2 |
입자 크기 | <200um |
크기 범위 | 길이200mm~2000mm 폭 40mm~500mm 두께 1mm~50mm 당신의 맞춤형으로 |
Zr 판 타겟의 화학성분(순도 99.5%)
아이템 정보 | 샘플 번호 | 주목 | ||
01호 | ||||
화학 분석 | 크 | W / % | 0.012 | ASTM E2371-13 |
철 | W / % | 0.02 | ||
하프 | W / % | 1.989 | ||
아이템 정보 | 샘플 번호 | 주목 | ||
01호 | ||||
가스 분석 | C | W / % | 0.011 | ASTM E1941-10 |
H | W / % | 0.0017 | ASTM E1447-09 | |
N | W / % | 0.0038 | ASTM E1409-13 | |
O | W / % | 0.089 | ||
애플리케이션
광학 코팅, 반도체 장치, 박막 태양 전지를 포함한 다양한 응용 분야의 박막 생산에 일반적으로 사용됩니다. 증착된 필름의 품질과 일관성을 보장하기 위해 종종 고순도 지르코늄으로 만들어집니다.
크기와 모양은 특정 응용 분야와 사용되는 장비에 따라 다를 수 있습니다. Zr 타겟은 원형, 직사각형 또는 기타 모양일 수 있으며 크기는 몇 센티미터에서 수 미터까지 다양합니다.
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